产品简介

Dy-100型自动定向仪用来对晶片质量进行检测的高精度设备：

◆对天然或是人工合成的晶体如：SiO2、SiC、AL2O3等晶面角度精确测量；

◆ 采用Omega（摇摆）扫描方式，对晶面半峰宽测量，用来表征晶体结晶状态、取向度；

◆对晶片（晶棒）的缺陷进行分析和正确评价；

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